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近日，集成电路量检测设备专业供应商御微半导体，已顺利完成数亿元B轮融资。本轮融资由合肥产投集团旗下合肥创新投、产投资本、国正公司联合领投，老股东上海科创（浦东科创）、中芯聚源、元禾厚望追加投资，安徽省铁路基金、张江科投、诺华资本、永昌盛资本、基石资本、临芯资本、正海资本、上海固信、创谷资本等多家机构纷纷跟投。

御微半导体是一家以技术和市场双轮驱动，为集成电路制造提供先进装备的高新技术企业。御微立足集成电路前道量检测领域，聚焦集成电路光学量检测系统设计与系统集成，围绕集成电路装备自主化，已经形成了掩模版检测、晶圆检测、泛半导体检测、晶圆测量四大领域六大类量检测产品。其自主研发的掩模缺陷检测、晶圆缺陷检测及晶圆套刻测量设备，多项指标均优于国内国际同类型竞品，并获得了国内多家头部晶圆厂的认可及批量订单。本轮融资将用于新产品开发及持续性研发投入，并拓展集成电路前道量检测领域核心产品布局。

在合肥御微成立初期，合肥产投集团旗下创新投资公司管理的市天使基金即对其实施投资，助力其技术研发和产能扩张。市天使基金投资完成后，御微半导体发展迅猛，实现了多款半导体设备研发量产，并获得了国内多家头部晶圆厂的认可及批量订单，业务规模实现跨越式增长。值得一提的是，合肥御微曾荣获2022年第十一届中国创新创业大赛全国总决赛初创组“一等奖”，实现合肥市参加中国创新创业大赛总决赛以来一等奖“零的突破”。

未来，合肥产投集团将加快实施创新驱动发展战略，继续深化“天使基金培育，市场化基金接力”的投资模式，坚定不移支持科技创新发展，投资硬科技，为合肥市经济高质量发展培育新动能、注入新活力。

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在2022年第十一届中国创新创业大赛上，御微半导体以“集成电路前道量检测设备项目”参加本次大赛，历经多轮选拔，最终在全国总决赛中荣获“创新创业50强”称号，并获全国总决赛初创组“一等奖”，此次获奖也是安徽企业在该赛事中荣获的历史最佳成绩。

此外，代表安徽参加总决赛的3家企业均为集团旗下市天使基金已投企业，充分体现了市天使基金对优质科技型初创企业的发掘能力和扶持力度，以及始终坚持支持“硬科技”类创新项目，支持我市战略性新兴产业的发展，有力促进领域内项目的技术创新及科技成果产业化。